STRUCTURAL STABILITY OF MEMS ARCHES ACTUATED BY ELECTROSTATIC FRINGING FIELDS.
No Thumbnail Available
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Saudi Digital Library
Abstract
في هذه الرسالة, سيتم دراسة نوع من أنظمة المايكرو التي تستخدم الكهرباء وتعتمد على حركة ميكانيكية أو مايسمى( بالميمس). هذا النوع يستخدم عامود مقوس في حجم المايكرو ومشغل بواسطة حقل كهربائي مجنب, حيث الأقطاب الكهربائية تقع على طرفي العامود. قوة الكهرباء الساكنة تتولد من عدم التطابق الحاصل في الحقول الكهربائية المجنبة والتي تعمل في الاتجاه المعاكس للانحراف النسبي للعامود, مما يؤدي إلى استعادة قوة الكهرباء الساكنة والتي تزيد عند التزويد بالجهد المباشر. تم إيجاد نموذج الدرجة المخفضة لهذا النظام باستخدام طريقة جالركين بافتراض وضعية الأشكال للنظام الخطي الغير واهن للعامود المستقيم كدوال أساسية عند الاشتقاق. وتم عمل كذلك تحليل البيانات لوضعية الثبات لفحص حدوث عدم الاستقرار عند ظاهرة الاعوجاج للأسفل. ومن ثم تم إيجاد القيم الذاتية لإيجاد اهتزاز التردد الرئيسي وكذلك الاهتزاز لترددات ذي درجات أعلى تحت تأثير حمل ثابت. أيضا تم عمل دراسة التشعيب لاشتقاق معيار لرؤية ما إذا كان التشعيب متطابق أو غير متطابق خلال ظاهرة الاعوجاج للأسفل عند الحمل الثابت. النتائج أظهرت اختفاء لما يسمى بظاهرة الالتصاق للداخل لهذه النوعيات من النظم التي تجعل الأقطاب الكهربائية الثابتة تقع على الجنب بدلا من أن تكون بأسفلها مباشرة. لهذا نستطيع القول بأن هذه النوعية من النظم مفيدة عندما يتطلب تصميم أجهزة ميمس مستقرة و خالية من ظاهرة الانجذاب الداخلي.