Nonlinear Structural Behavior of Electrically Actuated MEMS Actuator
| dc.contributor.author | ABDULRAHMAN ALOFI | |
| dc.date | 2015 | |
| dc.date.accessioned | 2022-05-18T05:21:55Z | |
| dc.date.available | 2022-05-18T05:21:55Z | |
| dc.degree.department | College of Engineering Sciences and Applied Engineering | |
| dc.degree.grantor | King Fahad for Petrolem University | |
| dc.description.abstract | في هذه الرسالة, سيتم دراسة السلوك في حالة السكون و أيضا في حالة الحركة لنوع من أنظمة المايكرو (وهو استخدام عامودين) التي تستخدم الكهرباء وتعتمد على حركة ميكانيكية أو مايسمى (بالميمس). تم استخدام طريقتين عددية للتحليل, وهي كالتالي: نموذج الدرجة المخفضة وتحليل الاضطراب. تم اشتقاق نموذج الدرجة المخفضة باستخدام طريقة جالركين بافتراض وضعية الأشكال للنظام الخطي الغير واهن للعامود المستقيم كدوال أساسية عند الاشتقاق. بينما تم صنع طريقة تحليل الاضطراب باستخدام طريقة النطاقات المتعددة بتفعيلها مباشرة على معادلات الحركة. في البداية تم إعادة إيجاد النتائج للعامود الواحد في حالتيه الساكنة والمتحركة. بعد ذلك تم إجراء التحليل العددي للعامودين باستخدام المعادلات الناتجة من نموذج الدرجة المخفضة. أظهرت النتائج أن استخدام عامودين يؤدي إلى احتياج أقل من الجهد الكهربائي للتوليد وأيضا إلى وقت أقل في التبديل مقارنة مع استخدام عامود واحد. بعد ذلك, تم دراسة تأثير اختيار عمق فراغ الهواء على النظام. ومن ثم تم فحص مسألة القيمة الذاتية وذلك لإيجاد الترددات الأساسية الطبيعية ودراسة تأثير تغييراتها مع الجهد الكهربائي. تم إجراء أيضا دراسة على التحليل المتحرك باستخدام الطريقتين العدديتين السابقة, وأظهرت النتائج تطابق جيد بين الطريقتين. أخيرا, تم إجراء دراسة لعدة عوامل متغيرة في المعادلة باستخدام تحليل الاضطراب وأظهرت النتائج عدة خصائص مثيرة للاهتمام, والتي نأمل أن تستخدم لاحقا لبعض تطبيقات أجهزة الميمس. | |
| dc.identifier.other | 2817 | |
| dc.identifier.uri | https://drepo.sdl.edu.sa/handle/20.500.14154/1818 | |
| dc.language.iso | en | |
| dc.publisher | Saudi Digital Library | |
| dc.thesis.level | Master | |
| dc.thesis.source | King Fahad for Petrolem University | |
| dc.title | Nonlinear Structural Behavior of Electrically Actuated MEMS Actuator | |
| dc.type | Thesis |